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光刻机受限又如何?中国先进制程开始向芯片背面找答案

更新时间 2026-09-20来源 万周正文 482字阅读约 2分钟

一条关于N7/N5开发BSPDN(背面供电网络)的产业消息,让“背面供电”重新进入市场视野。表面看,它只是全球2nm时代的一项新工艺;但对EUV受限的中国先进制程而言,意义更特殊。

BSPDN不能替代EUV,却可以通过把供电网络移到芯片背面,释放正面布线空间,降低继续压缩金属线路的压力。它更像是在原有DUV、多重曝光之外,为中国先进制程增加一种新的“解题方式”。

一、发生了什么?——一项“2nm时代”的技术,“意外”出现在中国N7/N5的讨论里

1. Jukan爆料背后的产业迹象:

9月18日,知名韩国半导体博主Jukan转述称,某中国先进制程企业据称正在为N7和N5节点开发BSPDN,也就是背面供电网络。单看这句话,信息并不算充分,因为该企业目前并未公开确认相关量产计划,相关说法此前也主要来自韩国ETNews等产业媒体,因此仍需要更多验证。

但它之所以引起关注,是因为BSPDN原本更多出现在全球最先进制程的讨论中。Intel把PowerVia导入18A,台积电则计划在A16中采用Super Power Rail,背面供电已经成为2nm及以下制程的重要技术方向。

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文章标签芯片
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